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分子泵機(jī)組的特點(diǎn)及用途

來源：網(wǎng)絡(luò) | 發(fā)布時(shí)間：2024-01-16 |

    分子泵機(jī)組是一種集分子泵和前級泵于一體的設(shè)備，這種組合使得分子泵的優(yōu)點(diǎn)得到了最大的發(fā)揮。其主要特點(diǎn)是在很寬的壓力范圍內(nèi)（10-6至大氣）工作，大大提高了泵的出口壓力。
    分子泵利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走。這種泵有兩種主要類型：牽引分子泵和渦輪分子泵。牽引分子泵中，氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅(qū)送到泵的出口。渦輪分子泵則靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來實(shí)現(xiàn)抽氣，這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
    另外，分子泵機(jī)組有三種常見的類型：油潤滑分子泵、脂潤滑分子泵和全磁懸浮分子泵。其中，油潤滑分子泵和脂潤滑分子泵需要配備前級泵，一般使用旋片泵作為前級泵。
    分子泵機(jī)組在許多領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用，如分析質(zhì)譜分析、電子顯微鏡、半導(dǎo)體電子組件、集成電路、柔性太陽能電池等。同時(shí)，也常用于光學(xué)/玻璃行業(yè)（例如熱保護(hù)，增透、反射、光學(xué)濾光膜）、鍍膜行業(yè)（例如表面保護(hù)，裝飾涂料，顯示器，屏幕）以及真空冶金行業(yè)（例如真空爐、真空釬焊、真空燒結(jié)、真空合金等）。此外，它也常常用在泄漏檢測領(lǐng)域（例如真空系統(tǒng)、車輛的油箱，安全氣囊等）。