成都新德南光機械設備公司 > 紫外光刻機是在什么條件操作

紫外光刻機是在什么條件操作

來源：成都新德南光機械設備有限公司 | 發(fā)布時間：2019-05-30 |

       隨著電子業(yè)的飛速發(fā)展,對作為電子元器件基礎的印制板的需求量及其加工精度的要求越來越高。紫外線光刻機是印制板制造工藝中的重要設備。傳統(tǒng)光刻機的玻璃-邁拉曬架在生產過程中需要人工趕氣,邁拉膜需要經常更換。由于冷卻系統(tǒng)過于臃腫,使得其生產成本高、效率低,已不能滿足PC B 生產的需要。在實驗基礎上設計了雙玻璃曬架光刻機，改進了其主要組成部分,包括曬架系統(tǒng)、光路系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)以及電氣和控制系統(tǒng)的整體設計。
       在計算機的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物（通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠）進行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學性質發(fā)生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上形成精細圖形。（來自于：三六零問答）