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分子泵的選型及注意事項

來源：成都新德南光機械設(shè)備有限公司 | 發(fā)布時間：2016-05-04 |

滿足系統(tǒng)的抽氣要求，工作節(jié)拍
    在對系統(tǒng)的氣載、工作節(jié)拍有較清楚計算的基礎(chǔ)上，考慮配泵的大小，數(shù)量。
    同時還要考慮到前級泵的大小，以及分子泵在高壓強段有效抽速降低等因素。
    對于大的工作腔室，要考慮配羅茨泵機組，使得系統(tǒng)盡快地渡過高壓強工作段
滿足系統(tǒng)的本底壓強（極限）的要求
    系統(tǒng)的極限壓強除與分子泵的極限壓強有關(guān)外，與排氣時間、腔室材料、法蘭連接形式、清潔程度、是否烘烤等諸多因素有關(guān)。
    同一型號的分子泵在極限指標方面有微小差異，差異一般不會高于半個量級。
安裝方式方面的考慮：
注意分子泵正常工作時所需的入口、出口壓強等工作條件
在高壓強段（1Pa左右）需較大排氣能力時，可考慮選用復(fù)合型分子泵
若關(guān)心對某種氣體的抽除能力（如該種氣體的分壓強值），還要注意分子泵對該氣體的抽速、壓縮比等參數(shù)。