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真空行業(yè)的主要產(chǎn)品

來源：成都新德南光機械設(shè)備有限公司 | 發(fā)布時間：2016-03-13 |

真空行業(yè)的主要產(chǎn)品：主要從真空產(chǎn)品概況和特點以及真空產(chǎn)品的區(qū)域性兩方面來進行概述。其中招安傳統(tǒng)劃分方式真空設(shè)備又或劃分為四大類即：1.真空獲得設(shè)備、2.真空應(yīng)用設(shè)備、3.真空測量儀表、4.真空配件。
一、真空產(chǎn)品概況和特點
按照傳統(tǒng)的劃分方式，真空設(shè)備可分為四大類，即：
1．真空獲得設(shè)備
真空獲得設(shè)備主要包括：旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵、蒸汽流真空泵、往復(fù)真空泵、液環(huán)真空泵、水噴射泵、水蒸氣噴射泵、分子泵、低溫泵、離子泵、干泵等等。其中又以旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵、蒸汽流真空泵、往復(fù)真空泵、液環(huán)真空泵這六種產(chǎn)品產(chǎn)量最大。
(1)旋片真空泵
按照我國產(chǎn)品的規(guī)格系列分類，旋片真空泵可以分為直聯(lián)泵和皮帶泵。直聯(lián)泵由泵軸和電機直接聯(lián)接而得名，其主要特點是體積小，轉(zhuǎn)速高。目前國內(nèi)市場該泵的規(guī)格有2XZ -0.25、2XZ -0. 5、2XZ-1、2XZ -2、2XZ -4、2XZ -8。由于直聯(lián)泵轉(zhuǎn)速較高，一般達到1 400轉(zhuǎn)／分，因此對旋片材料、密封件等要求高，因此一般國內(nèi)產(chǎn)品最大做到2XZ -8，再大規(guī)格的泵生產(chǎn)廠應(yīng)客戶的特殊要求安排生產(chǎn)。該泵主要用于空調(diào)、電冰箱、醫(yī)療器械、科學(xué)儀器等行業(yè)。
皮帶泵也是通常所說的普速泵，轉(zhuǎn)速一般在400～500轉(zhuǎn)／分，體積比直聯(lián)泵大出1/3左右。該泵的特點是運行可靠。目前產(chǎn)品規(guī)格有2X -0.5、2X -1、2X -2、2X -4、2X -8、2X -15、2X -30、2X -70。該泵除了可單獨使用外，主要與其他泵組成機組用于機械、化工、冶金、包裝、造紙等各行各業(yè)。
旋片真空泵還可以按照結(jié)構(gòu)分為單級和雙級，其主要區(qū)別在于所得到的極限壓力不同。
(2)羅茨真空泵
羅茨真空泵主要分為普通型和帶旁通閥型羅茨泵。普通型羅茨泵的規(guī)格型號為ZJ - 30、ZL -70、ZJ -150、ZJ -300、ZJ - 600、ZJ - 1200、ZJ - 2000、ZJ - 2500、ZJ- 5000等。如用戶有要求，可做到20 000 L/S（即ZJ- 20000）以上。帶旁通閥型羅茨泵的規(guī)格型號為ZJP - 30、ZLP - 70、ZJP - 150、ZJP-300、ZJP - 600、ZJP - 1200、ZJP - 2000、ZJP - 2500、ZJP - 5000等。帶旁通閥羅茨泵由于在進出口之間安裝了旁通閥，當(dāng)進出口壓差過大時，旁通閥自動打開，起到過載保護作用，因此該產(chǎn)品受到用戶青睞。此外，還有直排大氣羅茨泵、氣冷羅茨泵、水封羅茨泵等等。除了直排大氣羅茨泵，大多數(shù)羅茨泵不能單獨使用，要與其他真空泵組成機組，才能正常工作。該泵的特點是啟動快，抽氣量大，抽氣時間短，在冶金、化工、造紙等行業(yè)很受歡迎。
(3)滑閥真空泵
滑閥真空泵可分為單級和雙級兩種類型。單級滑閥泵的極限壓力一般為1 Pa左右，其規(guī)格型號有H-7、H-8、H -25、H - 70、H - 150、H -300、H - 600等。雙級滑閥泵的極限壓力可達到0. 06Pa，規(guī)格有2H -8、2H -15、2H -30、2H -70等?；y真空泵可以單獨使用，但多數(shù)情況下與其他真空泵組成機組而廣泛用于冶金、化工、電工等行業(yè)。其特點是抽氣量大，運行可靠，可抽出少量可凝性氣體。
(4)油擴散泵
一迪莖散泵是蒸氣流真空泵中的一種-Q該泵與以上三種泵的抽氣機制不同。它是利用蒸氣流作用產(chǎn)生壓強差，使氣體向蒸氣流中擴散，再經(jīng)壓縮到泵的出口，由前級泵排除。
油擴散泵可分為兩個系列，直筒型和凸腔型。直筒型的規(guī)格有K - 100、K -160、、K - 200、K-300、K - 400、K - 600、K - 800、K - 1000、K -1200等。凸腔型的規(guī)格有KT - 150、KT - 200、KT - 300、KT - 320、KT- 400、KT - 500、KT - 600、KT - 800、KT - 1000等。由于凸腔泵的腔體外凸增大，因此抽速比直筒泵高出30%左右。油擴散泵與羅茨泵、旋片泵等組成機組，用于機械、冶金、薄膜等行業(yè)。其特點是極限壓力高，可達到1 × 10<SUP>-5</SUP> Pa，沒有機械運動，可靠性好。國產(chǎn)油擴散泵都存在一定的返油，易造成油污染，因此限定了它的使用條件。
(5)液環(huán)真空泵
水環(huán)真空泵是液環(huán)真空泵中的一種。它以水為介質(zhì)達到真空目的。水環(huán)真空泵的型號規(guī)格很多，有SK單級水環(huán)泵系列，2SK雙級水環(huán)泵系列，2BEI水環(huán)泵系列等等。該泵的特點是抽氣量大、無油污染，可抽出潮濕氣體?？梢詥为毷褂茫部梢越M成機組。水環(huán)真空泵主要用于化工化學(xué)，電站、煤礦等行業(yè)。目前國產(chǎn)水環(huán)泵逐漸向大型化發(fā)展。我國生產(chǎn)的世界上最大的800 m3/min水環(huán)泵目前已經(jīng)用于煤礦的安全生產(chǎn)。
(6)分子泵和干泵
分子泵在國外是高真空領(lǐng)域的主泵，，主要用于半導(dǎo)體、薄膜工業(yè)等。2006年之后我國對分子泵的需求呈爆發(fā)式增長。
干泵是應(yīng)半導(dǎo)體、薄膜等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展應(yīng)運而生。該泵可作為分子泵的前級泵，從而實現(xiàn)全無油高真空系統(tǒng)。干泵在國內(nèi)剛剛起步。目前有爪型泵、葉片泵、往復(fù)活塞泵、螺桿泵等等。
(7)水噴射泵和水蒸氣噴射泵
水噴射泵是一種以水作為動力及抽氣介質(zhì)的泵，分為單噴嘴和多噴嘴。
水蒸氣噴射泵由泵體和冷凝器兩部分組成，以水蒸氣作為動力及抽氣介質(zhì)的泵，分單級和多級。水噴射泵和水蒸氣噴射泵主要用于鋼鐵的爐外精煉。還可用于制藥、農(nóng)藥、食品、油脂、制革、環(huán)保、印染等行業(yè)。適用于蒸餾、濃縮、過濾、結(jié)晶、吸收、除氧、除臭、脫氣、三廢處理等等工藝。
(8)低溫泵
低溫泵是用低溫抽氣獲得高真空或超高真空的方法，是隨著低溫技術(shù)發(fā)展而發(fā)展起來的。主要用于半導(dǎo)體，特別是大規(guī)模集成電路、表面物理和薄膜等領(lǐng)域。國外產(chǎn)品80%以上用于半導(dǎo)體。我國低溫泵的研制起始于20世紀70年代，到目前仍然沒有批量生產(chǎn)的能力，且品種單一，沒有形成系列。
2．真空應(yīng)用設(shè)備
(l)真空鍍膜設(shè)備
按照薄膜原理劃分，可以分為濺射鍍膜、離子鍍膜、蒸發(fā)鍍膜和化學(xué)氣相沉積鍍膜。按照使用對象可以分為光學(xué)鍍膜、卷繞鍍膜、裝飾鍍膜、太陽能集熱管鍍膜、刀具鍍膜、建筑鍍膜、導(dǎo)電鍍膜等等。
a.蒸發(fā)鍍膜設(shè)備
蒸發(fā)鍍膜設(shè)備在我國所有鍍膜設(shè)備中是最先開發(fā)成功的鍍膜設(shè)備，20世紀50年代我國就已經(jīng)研制成功，蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的品種繁多，有用于鍍制光學(xué)薄膜的光學(xué)鍍膜設(shè)備，主要用于光學(xué)器件，激光器件以及微電子器件等，還有采用蒸發(fā)鍍膜原理制造的卷繞鍍膜設(shè)備，用于裝飾裝潢、電子器件包裝等各行各業(yè)。
b.濺射鍍膜設(shè)備
離子靶材，使其被濺射出來沉積到基片上形成薄膜。濺射鍍膜設(shè)備可鍍制ITO導(dǎo)電膜、介質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、金屬膜、磁性膜、高溫超導(dǎo)膜、單晶膜、裝飾膜等多種薄膜，如用于電子行業(yè)大規(guī)模集成電路和光盤、磁盤薄膜的鍍制。用于建筑行業(yè)的幕墻玻璃薄膜，電子行業(yè)的電容器薄膜，航空航天器中的固體潤滑膜，能源方面的太陽能電池，以及氣體、包裝、紅外技術(shù)等多個行業(yè)。
c.離子鍍膜設(shè)備
離子鍍膜設(shè)備可分為電弧離子鍍膜、射頻放電離子鍍膜、空心陰極離子鍍等等，離子鍍由其鍍膜原理決定了其沉積速度快，鍍層質(zhì)密，膜層附著性好等特點。被廣泛用于工具、模具等行業(yè)，可鍍制金屬膜、硬膜、仿金膜等等。
d.化學(xué)氣相沉積設(shè)備
化學(xué)氣相沉積設(shè)備是以化學(xué)反應(yīng)的方法制膜，可用于鍍制表面保護膜以及半導(dǎo)體和電子材料。
e.離子束刻蝕設(shè)備
刻蝕作為半導(dǎo)體工業(yè)中的超精細加工技術(shù)，隨著大規(guī)模集成電路的集成度的增加而成為不可缺少的重要設(shè)備。離子束刻蝕技術(shù)與其他化學(xué)腐蝕、等離子體濺射等技術(shù)相比，對加工材料沒有選擇性、可以進行超微細加工，能夠刻蝕非常精細的溝槽，刻蝕的圖形邊緣清晰，精確度高。離子束刻蝕設(shè)備可分為立式和臥式，國產(chǎn)設(shè)備真空系統(tǒng)主要以油擴散泵加水冷擋板為主，國外較多采用低溫泵抽氣系統(tǒng)。
(2)真空爐
真空爐在我國的發(fā)展起始于20世紀50年代末。第一臺10公斤真空感應(yīng)爐于1958年開始在沈陽研制，1960年通過鑒定。目前我國生產(chǎn)的真空爐品種繁多，大致可分為冶金爐和熱處理爐。
其中冶金爐有：真空電阻爐、真空燒結(jié)爐、真空電弧爐、真空感應(yīng)爐、單晶爐以及真空釬焊設(shè)備等；
真空熱處理爐包括：真空淬火爐、回火爐、退火爐、滲碳爐、輝光離子氮化爐等。
a.真空電阻爐
真空電阻爐是在真空條件下，利用電阻來加熱工件或材料。主要用于活潑、難溶金屬或某些磁性合金退火和真空除氣。電阻爐的種類有很多，按照不同的方式可分為立式、臥式、內(nèi)熱式、外熱式等等。
b.真空燒結(jié)爐
真空燒結(jié)爐主要用于硬質(zhì)合金、陶瓷材料、磁性材料、稀有難熔材料、金屬粉末制品、光電元件等材料的燒結(jié)處理。對于燒結(jié)處理的材料不同，真空燒結(jié)爐的種類有可達2 000℃以上的高溫?zé)Y(jié)爐和真空度較高的高真空燒結(jié)爐。
c.真空電弧爐
真空電弧爐是利用弧光放電產(chǎn)生的電弧使工件或材料執(zhí)熔?？捎糜谌蹕鍟阢~ 法滁金屬銑鋯和難溶金屬。真空電弧爐的種類可以分為自耗爐、非自耗爐及凝殼爐等等。
d.真空感應(yīng)爐
真空感應(yīng)爐是利用電磁感應(yīng)的方法將爐內(nèi)的坩堝加熱，在真空狀態(tài)下進行金屬和合金的熔煉?？蓪芎辖稹⒋判圆牧?、活性金屬和難溶金屬進行熔煉。
e.真空釬焊設(shè)備
真空釬焊是指在真空條件下不需要焊劑進行釬焊的方法。主要用于不銹鋼、高溫合金、硬質(zhì)合金，有色金屬，特別是含鋁、鈦較高的耐熱合金的釬焊，同時也適用于一些鋯、鈮等難溶金屬的焊接。真空釬焊對比于普通釬焊優(yōu)點十分明顯，如無污染、焊接變形小，焊縫質(zhì)量高，沒有焊劑對材料的腐蝕，沒有氣孔和夾渣，高效節(jié)能等等。其中的真空鋁釬焊設(shè)備主要用于鋁制板翅式熱交換器、汽車散熱器、空調(diào)蒸發(fā)器、冷凝器、雷達天線及電子通訊部件的鋁釬焊。真空釬焊設(shè)備的種類可以分為單室、雙室或立式、臥式、無氣淬、有氣淬、冷壁、熱壁等等。由于我國汽車工業(yè)的飛速發(fā)展，近幾年對真空釬焊設(shè)備的需求出現(xiàn)了較大的增長。
f.真空熱處理爐
真空熱處理是指在真空條件下對金屬材料進行的退火、回火、氣淬、消除應(yīng)力、時效、滲碳、氮化等處理。
在真空環(huán)境下對金屬進行熱處理有許多獨特的優(yōu)點，比如熱處理后的零件表面十分光亮，同時無公害、安全、節(jié)能、增加材料的壽命、變形小，并減少了許多后續(xù)工作等等。
(3)其他真空應(yīng)用設(shè)備
除了以上提到的應(yīng)用比較廣泛的真空應(yīng)用設(shè)備-真空鍍膜機、真空爐外，真空應(yīng)用設(shè)備的種類還很多。如：真空提純、真空蒸餾、真空干燥、真空浸漬、真空澆注、真空運輸、宇航模擬設(shè)備等等。以及近些年興起的真空食品包裝、真空冷凍干燥、真空醫(yī)療設(shè)備、太陽能集熱設(shè)備等等。
3．真空測量儀表
壓力測量儀表--熱偶真空計、電阻真空計、復(fù)合真空計等。
流量測量儀表--質(zhì)量流量計、浮子流量計、滴管流量計等。
檢漏儀器--氦質(zhì)譜檢漏儀、火花檢漏儀、鹵素檢漏儀等。
4．真空配件
真空閥門--擋板閥、插板閥、翻板閥、電磁閥、壓差閥、隔膜閥、球閥、微調(diào)閥等。
真空泵油--機械泵油、擴散泵油、硅油、真空脂等。
真空管路配件--波紋管、法蘭、密封圈等。